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真空閥門在半導(dǎo)體加工設(shè)備中扮演重要角色

真空閥門在半導(dǎo)體加工設(shè)備中扮演重要角色發(fā)布時間2024-01-10
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真空閥門在半導(dǎo)體加工設(shè)備中扮演著重要的角色。半導(dǎo)體制造是一個Jing密且對環(huán)境潔凈度及控制要求極高的過程,其中很多關(guān)鍵步驟需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,例如沉積(Deposition, 如物理的氣相沉積PVD或化學(xué)氣相沉積CVD)、蝕刻(Etching)、擴(kuò)散(Diffusion)、快速熱處理(Rapid Thermal Processing, RTP)以及去膠(Strip)等工藝。

真空閥門是構(gòu)成這些設(shè)備真空系統(tǒng)的重要組成部分,它們負(fù)責(zé):

隔離與連接:真空閥門能夠根據(jù)工藝流程需求打開或關(guān)閉真空管道,使得不同的工藝腔室可以相互獨立操作,同時也能在特定時刻實現(xiàn)腔室之間的有效連通。

手動隔絕真空閥門

壓力調(diào)節(jié)與控制:通過jing確控制真空閥門的開關(guān)時間和開口大小,實現(xiàn)對腔室內(nèi)真空度和氣體壓力的jing細(xì)調(diào)整,這對于工藝參數(shù)控制至關(guān)重要。

防止污染:由于半導(dǎo)體生產(chǎn)對雜質(zhì)容忍度極低,因此真空閥門需具備良好的密封性能以阻止大氣及其他污染物進(jìn)入高純度的工作環(huán)境中。

An全性保障:當(dāng)發(fā)生異常情況時,真空閥門能夠迅速關(guān)閉以保護(hù)設(shè)備、人員an全,并維持工藝環(huán)境穩(wěn)定。

低振動特性:某些半導(dǎo)體真空閥門設(shè)計有低振動特點,能減少工作過程中產(chǎn)生的微小振動對微觀結(jié)構(gòu)形成的影響,保證產(chǎn)品品質(zhì)。

所以,半導(dǎo)體加工設(shè)備中的真空閥門不僅是構(gòu)建真空環(huán)境的基礎(chǔ)元件,同時也是確保整個芯片生產(chǎn)工藝成功進(jìn)行的關(guān)鍵部件之一。


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真空閥門回到頭部
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